法米特质量流量计可以测量微小气体流量，但需根据具体型号和测量需求选择。以下是关键要点：

核心原理

质量流量计通过直接测量流体质量流量，原理与流体种类（气体/液体）无关。其核心在于高精度传感器（如 MEMS芯片 ），可实现高精度、高稳定性测量。 ?

适用场景

?微小气体流量?： MF4000系列 （3-8mm管径）和 M2030系列 （5-35000ml/min量程）等微型流量计，专为微小气体流量设计，支持低流速（如0.1kg/h）和细管径（如1mm）测量。 ?

?高精度需求?： 科里奥利质量流量计 （如1mm管路）可实现±0.25%满量程的重复精度，适用于实验室及工业精密测量。 ?

注意事项

?介质兼容性?：需确认设备材质是否耐受腐蚀性或高粘度介质（如氢氟酸、硅油）。 ?

?接口适配性?：细管径（如DN1）需匹配高精度接口，避免流体扰动或泄漏。 ?

综上，质量流量计在微小气体流量测量中具有显著优势，但需结合具体设备参数和工况选择。